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1.  IMPRESS 213/224 深紫外納秒固體激光器

IMPRESS 213是高重頻二極管泵浦Q開(kāi)關(guān)固體激光器。優(yōu)異的TEM00光束模式非常適合用于計(jì)量學(xué)和微細(xì)加工，如半導(dǎo)體或顯示器修復(fù)。其極短的波長(zhǎng)適合于直接刻寫(xiě)應(yīng)用。

典型參數(shù)

應(yīng) 用

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->光纖布拉格光柵刻寫(xiě)

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->波長(zhǎng)敏感加工

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->立體光刻

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->顯示器修復(fù)

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->微細(xì)加工

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->半導(dǎo)體檢測(cè)

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->倍頻氬離子激光器替換

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->光致發(fā)光測(cè)量

優(yōu)異的FBG刻寫(xiě)性能

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->超快刻寫(xiě)速度

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->無(wú)需預(yù)載氫

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->高重頻刻寫(xiě)光纖光柵質(zhì)量更高

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->超低運(yùn)行與維護(hù)成本，體積小

2.  IXION-193 納秒固體激光器

IXION-193是單頻二極管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計(jì)量、高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制和193nm波長(zhǎng)的步進(jìn)校準(zhǔn)。

光譜帶寬接近理論傅立葉變換極限。中心波長(zhǎng)以0.01nm的精確度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精確光譜儀，精確度可達(dá)1pm以保證對(duì)激光器調(diào)諧的最大控制。

典型參數(shù)

特 點(diǎn)

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->工業(yè)級(jí)的頻率轉(zhuǎn)換，密封封裝

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->插槽安裝激光二極管泵浦

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->優(yōu)異的TEM00光束形貌

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->脈沖到脈沖之間波動(dòng)小

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->免維護(hù)與熱電溫控管理

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->LabVIEW驅(qū)動(dòng)

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->內(nèi)置光譜儀用于波長(zhǎng)實(shí)時(shí)控制

應(yīng) 用

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->193nm波長(zhǎng)計(jì)量

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->光譜儀校準(zhǔn)

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->干涉測(cè)量

<!--[if !supportLists]-->l <!--[endif]-->準(zhǔn)分子激光器的種子注入

3. Pixie系列皮秒鎖模固體激光器

典型參數(shù)

Model                   Pixie           Pixie-S         Pixie-T

wavelength          1342 nm     671 nm         447 nm

average power    1.8 W          0.7 W           0.5 W

pulse duration      < 6 ps         < 6 ps          < 6 ps

energy per pulse   12 nJ         4.5 nJ           3.5 nJ

repetition rate      143 MHz    143 MHz     143 MHz

M2                          < 1.3          < 1.3            < 1.3

       Applications are e.g. thin film ablation through transparent silicon wafers.

Exceptional advantages are shown for flat-panel display production including processing of OLEDs.

單頻納秒激光器

可提供單縱模激光器，該激光器可輸出短脈沖，脈沖寬度＜12ns，近衍射極限的的光束M²，重復(fù)頻率8-15kHz。光譜帶寬＜80MHz，該激光器非常大的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)就是功率非常穩(wěn)定σ＜1%。輸出的平均功率為10W@1064nm，倍頻之后可獲得5W的532nm的激光，經(jīng)過(guò)多次倍頻之后可獲得355nm，266nm和213nm的超穩(wěn)定激光。

性能參數(shù)：

所有參數(shù)都是在重頻為10kHz時(shí)測(cè)量獲得。

同步器和高精度觸發(fā)

Xiton的同步器選項(xiàng)可以將兩臺(tái)高重復(fù)頻率的調(diào)Q激光器高精度同步。目前市場(chǎng)上應(yīng)用的低重頻（10-50Hz）的同步器為電光調(diào)制器，我們生產(chǎn)的同步器比此類(lèi)電光調(diào)制器快千倍以上。超快觸發(fā)設(shè)置項(xiàng)可以允許一個(gè)脈沖以250ps去掃描另外一個(gè)脈沖，時(shí)差抖動(dòng)＜500ps。

同步器選項(xiàng)也可以精確同步另外系統(tǒng)里的連續(xù)發(fā)射激光器。

 可調(diào)節(jié)激光 OPG/OPO

Xiton也可以提供可調(diào)諧固體高重頻激光源。波長(zhǎng)可以再193nm-5μm可調(diào)。

固體可調(diào)諧器的近紅外和中紅外激光是通過(guò)周期極化鈮酸鋰，進(jìn)行光學(xué)參量震蕩獲得。

可選光譜帶寬＜80MHz，準(zhǔn)連續(xù)激光器也可實(shí)現(xiàn)帶寬減小。