uPG 101 

uPG 101 是很經(jīng)濟，容易去用微型發(fā)生器進行直寫應(yīng)用和低容量掩模制作的一個系統(tǒng)。這個系統(tǒng)可運用的應(yīng)用有，微電子機械系統(tǒng)、生物微系統(tǒng)、集成光學、微流道或者其他需要高分辨率的微型系統(tǒng)。他的面積很小只有60*1875px^2，獨特的緊湊結(jié)構(gòu)，使得所有的電子分量都可以完整的包含在這個系統(tǒng)中。個人電腦可以用來控制這個系統(tǒng)，這個基于操作軟件的圖形用戶界面使用戶更容易去進行設(shè)計，生成目錄，自動對準和生成曝光。

重要特征選項

最小基板尺寸  6”x  6”

最小廟會尺寸0.6um

最小描繪網(wǎng)格20nm

基本灰度曝光模式

實時自動對焦系統(tǒng)

標準或者紫外二級管激光源

矢量和柵格曝光模式

可交換的寫模式

攝像系統(tǒng)的一致性

多種數(shù)據(jù)輸入模式

技術(shù)參數(shù)

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