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產(chǎn)品概述
r該wct-120ts少子壽命測試儀展示了獨特的測量和分析技術(shù)。wct-120儀器分別采用由辛頓儀器變溫(溫度范圍從25到200??/span>C )和準穩(wěn)態(tài)光電導法得到硅片的載流子復合壽命。
rr
wct-120ts系統(tǒng)能力
r主要應用:
r在一個溫度范圍內(nèi)測量硅片的少數(shù)載流子復合壽命。
r其它功能:
rr
溫度和注入相關(guān)的少子壽命的周期結(jié)果。
r應用于:
r??初始材料(硅片)質(zhì)量監(jiān)控
r??晶圓(硅片)加工過程中重金屬污染的檢測
r??評價表面鈍化和發(fā)射極的摻雜劑擴散
r??使用隱含的I-V測量評價過程中引入的漏電流
rr
r上圖為溫度和注入相關(guān)的壽命測量結(jié)果r
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