ALPAO高速變形鏡

變形鏡，又稱變形反射鏡（DM），主要運用于各種自適應光學系統之中，主要用于校正波前畸變，它由很多驅動單元組合而成，每個驅動單元都有自己獨立的控制器，在外加電壓控制下，變形鏡的鏡面可以產生需要的形變量，從而對波前像差進行調制。變形鏡是自適應光學系統中的重要部件之一。
    ALPAO是從法國JosephFourier大學獨立出來的公司，主要開發(fā)電磁場驅動的MEMS驅動器，最高到820 個驅動器，行程達80μm，表面質量<7nmRMS，采用先進的拋光工藝，表面粗糙度<1nm，變形鏡的響應時間只有500us，帶寬可以達到2KHz。

 ALPAO高速變形鏡,可變形反射鏡，可變形鏡,deformable mirror

ALPAO公司可變形鏡

ALPAO公司MEMS變形鏡結構緊湊、相較于波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調制量大低磁滯性<1%，高線性度>97%。相比于MEMS靜電變形鏡來說，電磁驅動變形鏡相較于壓電變形鏡的優(yōu)點在于其巨大的變形量，更高的調制精度。

                                          

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主要特點：

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• 調制量大：波前相位調制幅度超過80μm                   

• 穩(wěn)定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours

·         高動態(tài)范圍 ：響應時間小于500μs                        

·         鍍膜質量高： R>97% @500nm- 2.0μm

• 表面平整：表面粗糙度 <15? RMS

• 亞納米步長精度

• 低磁滯：磁滯誤差小于1%              

• 單通道相位調制幅度>5.0 μm PTV

法國ALPAO高速變形鏡主要型號相關參數如下：

型  號 參   數	DM69	DM88	DM97-08	DM97-15	DM241	DM277	DM468	DM820
單通道口徑	1.5mm	2.5mm	0.8mm	1.5mm	2.5mm	1.5mm
通道數	69	88	97	97	241	277	468	820
孔徑	10.5mm	20.0mm	7.2mm	13.5mm	37.5mm	24.5mm	33.0mm	45.0mm
閉環(huán)系統鏡面平整度	7.0nm RMS (no print   through effects)
最大形變量（PTV)	60μm	40μm	80μm	60μm	40μm	15μm
聚焦/散光形變量（PTV）	40μm	30μm	40μm	40μm	30μm	10μm
3x3最大形變量（PTV)	>25μm					>10μm
響應時間（+/-10%)	800μs	1.6ms		800μs	1.6ms	500μs
帶寬	>750HZ	>400HZ		>750HZ	>400HZ	>2000HZ
45°相位延遲頻率	> 500 Hz	> 300 Hz		> 500 Hz	> 300 Hz	> 1500 Hz
回程誤差	<2%
非線性誤差	<3%
涂層	保護銀（或其他高反射率涂層）
操作溫度	-10~35℃

 法國Alpao公司開發(fā)的高速變形鏡為電磁驅動式、連續(xù)型反射鏡面，驅動電極多、可快速設定時間從而實現快速的波前校正?？蓱糜谔煳耐h鏡、主動光學、自適應光學、激光通信等領域

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