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本設(shè)備適用于評估和控制在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的外延過程并且以被使用在多種不同的材料上, 例如:Silicon, Germanium, III-V including III-Nitrides.
CVP21的凈室和模塊化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)使得本系統(tǒng)可以高效率,準(zhǔn)確的測量半導(dǎo)體材料(結(jié)構(gòu),層)中的摻雜濃度分布.選用合適的電解液與材料接觸,腐蝕,從而得到材料的摻雜濃度分布。電容值電壓掃描和腐蝕過程由軟件全自動(dòng)控制
CVP21的系統(tǒng)特點(diǎn)
? 堅(jiān)固可靠的模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
.光學(xué),電子和化學(xué)部分相對獨(dú)立.
? 精確的測量電路模塊
?
強(qiáng)力的控制軟件,系統(tǒng)操作,使用簡便
? 完善的售后服務(wù)體系
ECV/結(jié)深測試儀/擴(kuò)散濃度分選儀
德國WEP公司的ECV(型號為CVP21)在太陽能光伏行業(yè)的應(yīng)用非常普及,市場占有率甚至達(dá)95%以上,是光伏行業(yè)電池技術(shù)研究和發(fā)展的必要工具之一,在知名的光伏企業(yè)都有廣泛地使用。
WEP公司的ECV設(shè)備:CVP21(見圖)
1.
ECV又名擴(kuò)散濃度測試儀,結(jié)深測試儀等,即電化學(xué)CV法測擴(kuò)散后的載流子濃度分布(見圖);
2.
相比其他方法如SRP,SIMS等,ECV具有測量使用方便,價(jià)格低的優(yōu)點(diǎn);
4. CVP21所能測量的深度范圍是nm---10um;
5.
測量的載流子濃度范圍在10e12cm-3 < N < 10e21cm-3之內(nèi)都無需校準(zhǔn);
6. 測量擴(kuò)散樣片時(shí),樣片是保持“Dry
in”和“Dry out”,并無需做特別處理;
7.
其所用到的化學(xué)試劑本地就能買到,價(jià)格低且用量很少買一次可以用好幾年;
8.
從CVP21所測得的數(shù)據(jù)能帶給研發(fā)或工藝人員三方面的信息:一是表面濃度,二是濃度變化曲線,三是結(jié)深(見圖);
9.
表面濃度對于選擇和使用適合的漿料很有幫助,如粘合性,接觸電阻等的匹配問題;
10. 濃度分布曲線對掌握和改進(jìn)擴(kuò)散工藝提供依據(jù);
11.
結(jié)深的信息對電池工藝的總體把握來說是必須的,也是擴(kuò)散工藝時(shí)常需要抽測的項(xiàng)目之一;
12.
參考:測試出的幾種擴(kuò)散濃度分布曲線(見圖);
13. 廣泛的客戶群:Q-CELL, NREL, ISFH,
SHELL,ECN,RWE,HMI,SISE尚德,天合,晶澳,英利,交大泰陽,BYD,海潤,晶科,吉陽,南玻,格林保爾…
金牌優(yōu)質(zhì)服務(wù)
?
電化學(xué)CV分布儀(CV測試儀)
產(chǎn)品經(jīng)理:Mike
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電化學(xué)ECV 摻雜濃度檢測 電化學(xué)CV分布儀(CV測試儀)電化學(xué)CV剖面分析儀 電化學(xué)CV載流子濃度
http://www.rayscience.com/cv/27594.pdf
http://www.rayscience.com/cv/ECVBSF.pdf
http://www.rayscience.com/cv/ECVPKHALLSIMSSRP.pdf
http://www.rayscience.com/cv/flyer-cvp21.pdf
http://www.rayscience.com/cv/Heterojunctions.pdf
http://www.rayscience.com/cv/ISFH.pdf
http://www.rayscience.com/cv/ISFHECV.pdf
http://www.rayscience.com/cv/KonstanzECV-Profiles.pdf
http://www.rayscience.com/cv/Letter_of_Excellence_Distributor_for_Rayscience.pdf
http://www.rayscience.com/cv/semiconductortoday.pdf
http://www.rayscience.com/cv/wepsellscvp21.pdf
WAFER PROFILER CVP21WAFER PROFILER CVP21\r \r The Wafer Profiler CVP21 is a handy tool to measure doping profiles in semiconductor layers by Electrochemical Capacitance Voltage Profiling (ECV-Profiling, CV-Profiling) in semiconductor research or production.\r This ECV Profi |
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