50多項(xiàng)國(guó)際四探針測(cè)試儀領(lǐng)域的Patents!

1.高重復(fù)性,重復(fù)性≤ ±0.02% (靜態(tài)或者標(biāo)準(zhǔn)電阻); 

2.掃描速度快的四探針電阻率測(cè)試儀:一分鐘49個(gè)測(cè)量點(diǎn);  

3.較小的邊緣修正:即片子邊緣1.5mm以內(nèi)區(qū)域都能測(cè)量; 

美國(guó)Creative Design Engineering, 簡(jiǎn)稱“CDE”，成立于1995年，位于美國(guó)加州硅谷的庫(kù)比蒂諾 - Cupertino, CDE公司專(zhuān)注于四探針設(shè)備的生產(chǎn)和銷(xiāo)售，累計(jì)銷(xiāo)量達(dá)1000臺(tái)以上，遍布世界各大半導(dǎo)體Fab, 太陽(yáng)能光伏企業(yè)，大學(xué)及科研機(jī)構(gòu)，“CDE”是四探針領(lǐng)域的知名品牌。

CDE的使命是開(kāi)發(fā)和制造生產(chǎn)高價(jià)值的，高性能，成本低為半導(dǎo)體制計(jì)量產(chǎn)品及相關(guān)行業(yè)

CDE已制造并交付了超過(guò)1000 套resmap電阻率測(cè)試系統(tǒng)，大約24%用于 300mm測(cè)量，該公司已交付的太陽(yáng)能電池的開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)支持多個(gè)單位。

CDE是位于硅谷的心臟地帶，提供世界范圍內(nèi)的銷(xiāo)售和服務(wù)代表網(wǎng)絡(luò)支持。

特點(diǎn)簡(jiǎn)述:
CDE ResMap的特點(diǎn)如簡(jiǎn)述如下: * 高速穩(wěn)定自動(dòng)決定范圍量測(cè)與傳送,通過(guò)性高 * 數(shù)字測(cè)量方式及每點(diǎn)高達(dá)4000筆數(shù)據(jù)搜集,表現(xiàn)良好重復(fù)性及再現(xiàn)性 * Windows 操作接口及軟件操作簡(jiǎn)單 * 新制程表現(xiàn)佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達(dá)成高精確度及重復(fù)性) * 體積小,占無(wú)塵室面積少 * 校正簡(jiǎn)單,且校正周期長(zhǎng) * 可配合客戶需求,增強(qiáng)功能與適用性 * 300mm 機(jī)種可以裝2~4個(gè)量測(cè)頭,并且可以Recipe設(shè)定更換.

CDE 提供自動(dòng)計(jì)算機(jī)量測(cè)的四點(diǎn)探針阻值量測(cè)機(jī)臺(tái)?？焖?，精確與軟件控制下針、軟件功能優(yōu)化下針壓力，即使薄片量測(cè)也不易破裂。自動(dòng)清針(Probe Conditioning);動(dòng)作，雙針頭切換。太陽(yáng)能使用可支持自動(dòng)Loader，300mm 機(jī)臺(tái)可使用Front End，至多擴(kuò)充3個(gè)量測(cè)單元，支持Semi標(biāo)準(zhǔn)接口。
CDE　ResMap–CDE　公司生產(chǎn)之電阻值測(cè)試系統(tǒng)是以四探針的工藝，以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控，可靠又簡(jiǎn)易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家不可缺少的設(shè)備。

美國(guó)CDE公司的四探針/方塊電阻/電阻率測(cè)試設(shè)備：178（普及型號(hào)）

 測(cè)量尺寸：晶圓尺寸：2-8寸（273系列可測(cè)量大至12寸晶圓，575系列可測(cè)量大至450mm 18寸晶圓）

               方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

· 測(cè)量范圍： 0.001歐姆/平方 至 500000歐姆/平方（標(biāo)準(zhǔn)型）

· 測(cè)量方式： 電腦程序自動(dòng)測(cè)量，或不連電腦單測(cè)量主機(jī)也可實(shí)現(xiàn)測(cè)量和數(shù)據(jù)顯示，此時(shí)非常適合測(cè)試不規(guī)整樣片單點(diǎn)測(cè)量，適合實(shí)際研究需要。

· 測(cè)量的數(shù)據(jù)： 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度，根據(jù)具體應(yīng)用可以設(shè)置不同測(cè)量程序。

· 測(cè)量的點(diǎn)數(shù)： 程序編排任意測(cè)量點(diǎn)位置及測(cè)量點(diǎn)數(shù)量，對(duì)應(yīng)不同客戶不同測(cè)量要求任意編程測(cè)量點(diǎn)位置與數(shù)量。

· 測(cè)量的精確度：<0.1% （標(biāo)準(zhǔn)模阻）；

· 測(cè)量重復(fù)性：重復(fù)性≤ ±0.02% (靜態(tài)或者標(biāo)準(zhǔn)電阻)

· 測(cè)量速度：>49點(diǎn)/分鐘；

· 測(cè)量數(shù)據(jù)處理：根據(jù)需要顯示2D,3D數(shù)值圖，或按要求統(tǒng)計(jì)并輸出Excel格式文件；

· 邊緣修正：具有邊緣修正功能，即片子邊緣1.5mm以內(nèi)區(qū)域都能測(cè)量；

· 軟件控制下針：快速，精確與軟件控制下針、軟件功能可優(yōu)化下針壓力，即使薄片量測(cè)也不易破裂。自動(dòng)清針(Probe Conditioning);動(dòng)作，雙針頭切換。

· 探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,90-200克之間可調(diào)；

· 可供選擇的探頭類(lèi)型：根據(jù)測(cè)試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號(hào)探頭選擇，另外還可提供專(zhuān)門(mén)為客戶定制的應(yīng)用特殊要求的探針.

· 太陽(yáng)能使用可支持自動(dòng)Loader，300mm 機(jī)臺(tái)可使用Front End，至多擴(kuò)充3個(gè)量測(cè)單元，支持Semi標(biāo)準(zhǔn)接口。

 

· 設(shè)備應(yīng)用：

IC FAB/FP dispaly/LED：擴(kuò)散，離子注入等摻雜工藝監(jiān)控調(diào)試，薄膜電阻率或厚度測(cè)量等工序，如

Apple ADL Engineering, Inc.ADL Engineering, Inc.Air ProductsAixtron, Inc.Amkor

Amkor Technology Singapore Holding Pte. LtdApplied Materials, Inc.ASE

ASM Microchemistry Ltd.ATMIAtotechAvantor Performance Materials

Beijing NMC Co., Ltd.ChipBond ChipMOS Clarkson University

Fujimi CorporationISMI Giraffe Microelectronics Co. Ltd. (Qinghua University)

Hionix Hynix IBM Inter molecular

JiangSu Lam Research Lam Research SEZ/Aus

Leading Precision, Inc Maxim Integrated Products

MEMC Northrop Grumman PacTech

Powertech Technology Inc. Siltronic Samsung Wafer Pte. Ltd.

Siltronic Spansion SPIL SUMCO TEL NEXX, Inc.TSMC University of California

Intel，IBM，Motorola，TSMC，CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,,Osram,...

中國(guó)購(gòu)買(mǎi)用戶:

科研客戶：清華大學(xué) 北京大學(xué) 上海交通大學(xué) 天津大學(xué) 浙江大學(xué) 中山大學(xué) 浙江師范大學(xué) ?復(fù)旦大學(xué) 北京師范大學(xué) 河北大學(xué)  。。。。。。

Resmap178

Resmap178型四點(diǎn)探針測(cè)試儀是專(zhuān)門(mén)為光伏電池生產(chǎn)企業(yè)設(shè)計(jì)的一款產(chǎn)品。提供可靠，準(zhǔn)確和重復(fù)性好的四點(diǎn)探針測(cè)試技術(shù)。Resmap178已經(jīng)在太陽(yáng)能電池襯底和導(dǎo)電薄膜上證明了其測(cè)試電阻率的可靠能力。

  

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提供NIST標(biāo)準(zhǔn)片6片!

產(chǎn)品特點(diǎn)：操作簡(jiǎn)單、快速精確

電阻測(cè)量范圍：1 mΩ/ - 5 MΩ/

典型應(yīng)用：非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；新型電極設(shè)計(jì)，如電鍍銅電阻測(cè)量等

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美國(guó)CDE專(zhuān)利技術(shù): 可針對(duì)材料(不同材料、軟硬薄膜或離子植入深或淺等條件，對(duì)下針狀況優(yōu)化。而此功能是可由軟見(jiàn)操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻煩的硬件調(diào)整。

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測(cè)試性能指標(biāo)：

探針材料 WC

探頭壽命> 500W次

測(cè)量：

電阻率面掃描2D，3D圖：

      

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成功案例-美國(guó)CDE四探針測(cè)試儀

感謝以下客戶購(gòu)買(mǎi)美國(guó)美國(guó)CDE四探針測(cè)試儀

作為半導(dǎo)體行業(yè)四探針測(cè)試儀測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)之一，購(gòu)買(mǎi)美國(guó)CDE 四探針測(cè)試儀的單位非常多。

 購(gòu)買(mǎi)用戶

 科研客戶：清華大學(xué),天津大學(xué),浙江大學(xué) 中山大學(xué) 浙江師范大學(xué) 復(fù)旦大學(xué) 北京師范大學(xué) 河北大學(xué)  。。。。。。

 企業(yè)客戶：上海超日太陽(yáng)能 卡姆丹克太陽(yáng)能 南玻光伏 榮馬新能源 山東潤(rùn)峰電力 江蘇騰暉電力 晶澳太陽(yáng)能 海潤(rùn)光伏 常州比太 蘇州阿特斯 西安隆基 高佳太陽(yáng)能 江西旭陽(yáng)雷迪 無(wú)錫尚德 武漢珈偉光伏 蘇州中導(dǎo)光電 常州天合   。。。。。。

不能一一列舉敬請(qǐng)諒解