50多項國際四探針測試儀領(lǐng)域的Patents!

1.高重復(fù)性,重復(fù)性≤ ±0.02% (靜態(tài)或者標(biāo)準(zhǔn)電阻); 

2.掃描速度快的四探針電阻率測試儀:一分鐘49個測量點;  

3.較小的邊緣修正:即片子邊緣1.5mm以內(nèi)區(qū)域都能測量; 

美國Creative Design Engineering, 簡稱“CDE”，成立于1995年，位于美國加州硅谷的庫比蒂諾 - Cupertino, CDE公司專注于四探針設(shè)備的生產(chǎn)和銷售，累計銷量達(dá)1000臺以上，遍布世界各大半導(dǎo)體Fab, 太陽能光伏企業(yè)，大學(xué)及科研機構(gòu)，“CDE”是四探針領(lǐng)域的知名品牌。

CDE的使命是開發(fā)和制造生產(chǎn)高價值的，高性能，成本低為半導(dǎo)體制計量產(chǎn)品及相關(guān)行業(yè)

CDE已制造并交付了超過1000 套resmap電阻率測試系統(tǒng)，大約24%用于 300mm測量，該公司已交付的太陽能電池的開發(fā)和生產(chǎn)支持多個單位。

CDE是位于硅谷的心臟地帶，提供世界范圍內(nèi)的銷售和服務(wù)代表網(wǎng)絡(luò)支持。

特點簡述:
CDE ResMap的特點如簡述如下: * 高速穩(wěn)定自動決定范圍量測與傳送,通過性高 * 數(shù)字測量方式及每點高達(dá)4000筆數(shù)據(jù)搜集,表現(xiàn)良好重復(fù)性及再現(xiàn)性 * Windows 操作接口及軟件操作簡單 * 新制程表現(xiàn)佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達(dá)成高精確度及重復(fù)性) * 體積小,占無塵室面積少 * 校正簡單,且校正周期長 * 可配合客戶需求,增強功能與適用性 * 300mm 機種可以裝2~4個量測頭,并且可以Recipe設(shè)定更換.

CDE 提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺。快速，精確與軟件控制下針、軟件功能優(yōu)化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作，雙針頭切換。太陽能使用可支持自動Loader，300mm 機臺可使用Front End，至多擴充3個量測單元，支持Semi標(biāo)準(zhǔn)接口。
CDE　ResMap–CDE　公司生產(chǎn)之電阻值測試系統(tǒng)是以四探針的工藝，以配合各半導(dǎo)體成光伏生產(chǎn)廠家進(jìn)出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控，可靠又簡易操作的設(shè)備是半導(dǎo)體及光伏生產(chǎn)廠家不可缺少的設(shè)備。

美國CDE公司的四探針/方塊電阻/電阻率測試設(shè)備：178（普及型號）

 測量尺寸：晶圓尺寸：2-8寸（273系列可測量大至12寸晶圓，575系列可測量大至450mm 18寸晶圓）

               方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

· 測量范圍： 0.001歐姆/平方 至 500000歐姆/平方（標(biāo)準(zhǔn)型）

· 測量方式： 電腦程序自動測量，或不連電腦單測量主機也可實現(xiàn)測量和數(shù)據(jù)顯示，此時非常適合測試不規(guī)整樣片單點測量，適合實際研究需要。

· 測量的數(shù)據(jù)： 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度，根據(jù)具體應(yīng)用可以設(shè)置不同測量程序。

· 測量的點數(shù)： 程序編排任意測量點位置及測量點數(shù)量，對應(yīng)不同客戶不同測量要求任意編程測量點位置與數(shù)量。

· 測量的精確度：<0.1% （標(biāo)準(zhǔn)模阻）；

· 測量重復(fù)性：重復(fù)性≤ ±0.02% (靜態(tài)或者標(biāo)準(zhǔn)電阻)

· 測量速度：>49點/分鐘；

· 測量數(shù)據(jù)處理：根據(jù)需要顯示2D,3D數(shù)值圖，或按要求統(tǒng)計并輸出Excel格式文件；

· 邊緣修正：具有邊緣修正功能，即片子邊緣1.5mm以內(nèi)區(qū)域都能測量；

· 軟件控制下針：快速，精確與軟件控制下針、軟件功能可優(yōu)化下針壓力，即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作，雙針頭切換。

· 探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,90-200克之間可調(diào)；

· 可供選擇的探頭類型：根據(jù)測試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號探頭選擇，另外還可提供專門為客戶定制的應(yīng)用特殊要求的探針.

· 太陽能使用可支持自動Loader，300mm 機臺可使用Front End，至多擴充3個量測單元，支持Semi標(biāo)準(zhǔn)接口。

 

· 設(shè)備應(yīng)用：

IC FAB/FP dispaly/LED：擴散，離子注入等摻雜工藝監(jiān)控調(diào)試，薄膜電阻率或厚度測量等工序，如

Apple ADL Engineering, Inc.ADL Engineering, Inc.Air ProductsAixtron, Inc.Amkor

Amkor Technology Singapore Holding Pte. LtdApplied Materials, Inc.ASE

ASM Microchemistry Ltd.ATMIAtotechAvantor Performance Materials

Beijing NMC Co., Ltd.ChipBond ChipMOS Clarkson University

Fujimi CorporationISMI Giraffe Microelectronics Co. Ltd. (Qinghua University)

Hionix Hynix IBM Inter molecular

JiangSu Lam Research Lam Research SEZ/Aus

Leading Precision, Inc Maxim Integrated Products

MEMC Northrop Grumman PacTech

Powertech Technology Inc. Siltronic Samsung Wafer Pte. Ltd.

Siltronic Spansion SPIL SUMCO TEL NEXX, Inc.TSMC University of California

Intel，IBM，Motorola，TSMC，CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,,Osram,...

中國購買用戶:

科研客戶：清華大學(xué) 北京大學(xué) 上海交通大學(xué) 天津大學(xué) 浙江大學(xué) 中山大學(xué) 浙江師范大學(xué) ?復(fù)旦大學(xué) 北京師范大學(xué) 河北大學(xué)  。。。。。。

Resmap178

Resmap178型四點探針測試儀是專門為光伏電池生產(chǎn)企業(yè)設(shè)計的一款產(chǎn)品。提供可靠，準(zhǔn)確和重復(fù)性好的四點探針測試技術(shù)。Resmap178已經(jīng)在太陽能電池襯底和導(dǎo)電薄膜上證明了其測試電阻率的可靠能力。

  

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提供NIST標(biāo)準(zhǔn)片6片!

產(chǎn)品特點：操作簡單、快速精確

電阻測量范圍：1 mΩ/ - 5 MΩ/

典型應(yīng)用：非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴散片；新型電極設(shè)計，如電鍍銅電阻測量等

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美國CDE專利技術(shù): 可針對材料(不同材料、軟硬薄膜或離子植入深或淺等條件，對下針狀況優(yōu)化。而此功能是可由軟見操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻煩的硬件調(diào)整。

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測試性能指標(biāo)：

探針材料 WC

探頭壽命> 500W次

測量：

電阻率面掃描2D，3D圖：

      

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成功案例-美國CDE四探針測試儀

感謝以下客戶購買美國美國CDE四探針測試儀

作為半導(dǎo)體行業(yè)四探針測試儀測試標(biāo)準(zhǔn)之一，購買美國CDE 四探針測試儀的單位非常多。

 購買用戶

 科研客戶：清華大學(xué),天津大學(xué),浙江大學(xué) 中山大學(xué) 浙江師范大學(xué) 復(fù)旦大學(xué) 北京師范大學(xué) 河北大學(xué)  。。。。。。

 企業(yè)客戶：上海超日太陽能 卡姆丹克太陽能 南玻光伏 榮馬新能源 山東潤峰電力 江蘇騰暉電力 晶澳太陽能 海潤光伏 常州比太 蘇州阿特斯 西安隆基 高佳太陽能 江西旭陽雷迪 無錫尚德 武漢珈偉光伏 蘇州中導(dǎo)光電 常州天合   。。。。。。

不能一一列舉敬請諒解