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太赫茲技術簡介
太赫茲是一種新的、有很多獨特優(yōu)點的輻射源;太赫茲技術是一個非常重要的交叉前沿領域,給技術創(chuàng)新、國民經(jīng)濟發(fā)展和國家安全提供了一個非常誘人的機遇。它之所以能夠引起人們廣泛的關注、有如此之多的應用,首先是因為物質(zhì)的太赫茲光譜(包括透射譜和反射譜)包含著非常豐富的物理和化學信息,所以研究物質(zhì)在該波段的光譜對于物質(zhì)結(jié)構(gòu)的探索具有重要意義;其次是因為太赫茲脈沖光源與傳統(tǒng)光源相比具有很多獨特的性質(zhì)。
太赫茲(THz)輻射介于微波和紅外之間,與微波、X射線、核磁共振(NMR)成像相比,太赫茲成像不僅能給出物體的密度信息,而且能給出頻率域的信息,以及在光頻、微波和X射線范圍內(nèi)所不能給出的材料的轉(zhuǎn)動、振動信息.太赫茲射線與其他頻段的電磁波相比,它能量低,不會造成對生物樣品的電離損傷,而且太赫茲射線很容易穿過介電材料,因而可以用于產(chǎn)品的安全監(jiān)測.因此太赫茲成像技術在生物學、工業(yè)安全監(jiān)測等方面有可能帶來新的關鍵性的突破。
紅外、毫米波與太赫茲都是電磁波譜的一部分。紅外波長范圍從0.75至1000微米,頻率范圍為400至0.3THz;毫米波波長范圍為1~100毫米,頻率為30~300GHz,即0.03~0.3THz;太赫茲,是指頻率在0.1-10THz范圍內(nèi)的電磁波。它在長波段與毫米波重合,而在短波段與紅外線重合。
在這三個波段內(nèi),電磁波輻射包括相干輻射的產(chǎn)生、傳播和接收構(gòu)成了內(nèi)容十分豐富,用途特別廣泛的研究領域。對于紅外、毫米波的研究已經(jīng)有相當?shù)臍v史,并且與航空、航天、遙感、遙控、預警、監(jiān)測等一系列關系國計民生的重大技術應用緊密關聯(lián)。而由于缺乏有效的產(chǎn)生與檢測方法,國際上對太赫茲的研究僅僅只有20多年的歷史,人們對該波段電磁輻射性質(zhì)的了解非常有限,以致于該波段被稱為電磁波譜中的太赫茲空隙。
科學家們已經(jīng)達成共識:太赫茲是一種新的、有很多獨特優(yōu)點的輻射源,同時又是一個重要的交叉前沿領域。雖然目前利用太赫茲開發(fā)的產(chǎn)品非常有限,但可以預計的是未來各國將會投入龐大資源去開發(fā)太赫茲技術。
太赫茲技術的美好前景
太赫茲的應用前景廣闊,將對多個領域帶來革命性變化。目前,已經(jīng)投入實驗性使用的是代替X光安全檢測。據(jù)中科院上海技術物理研究所陸衛(wèi)研究員介紹,相對于紅外而言,太赫茲的波長更長,對物體的滲透性也更強。2003年美國哥倫比亞號航天飛機失事后,科學家從美國航天局提供的一塊材料著手,利用太赫茲作了檢測。材料里有90多個缺陷是對安全有害的,他們檢測出了其中的大部分,漏檢率只有百分之幾,超過了其他檢測方法。在美國的一些機場已經(jīng)使用了太赫茲安全檢測,不僅僅是從形態(tài)上,更是從化學組成上準確分辨爆炸物。
同時,可以“看”到太赫茲的射電望遠鏡也已經(jīng)在我國使用。沈?qū)W礎院士說,肉眼只能觀察到發(fā)射450-750納米波長可見光的天體,但這類天體只占總數(shù)的很小一部分,其他的天體也是在發(fā)光發(fā)熱,但卻是肉眼看不到的紅外、太赫茲和毫米波。寬波段的射電望遠鏡則能幫助科學家們觀測到這些不可見光,從而了解更多天體信息。
太赫茲另一個可能的用處是參與國際核聚變反應堆計劃。沈?qū)W礎院士告訴記者,從單個光子看,太赫茲的能量低,只有可見光的數(shù)百分之一。但一旦將太赫茲聚集起來,形成一個高能集束,由此放射出的一個脈沖能量可達幾百兆瓦,可以為核聚變反應堆加熱。建造一個高效、穩(wěn)定、大功率的太赫茲發(fā)生器是科學家們研究重點之一。
1. 特征
基于半導體的太赫茲發(fā)射源和探測器
光譜范圍0.1-3 THz
亞皮秒的時間分辨率
用電腦控制并完成數(shù)據(jù)分析
2. 介紹
太赫茲和亞太赫茲的頻段(100GHz-10THz)正好填補現(xiàn)有物理學電磁波譜中毫米波和紅外線波段之間的這一段空白。被科學界戲稱為太赫茲“空隙”的這段光譜是非常有吸引力的,因為已經(jīng)發(fā)現(xiàn)許多潛在的應用,除了我們下面將提到的三大主流研究方向外,在特殊物體成像、生物檢測以及先進通信系統(tǒng)等方面同樣具有十分廣闊的應用前景。
3. 太赫茲時域光譜分析(THz—TDS)
典型的THz時域光譜學系統(tǒng)如圖1。用亞皮秒的太赫茲脈沖透過樣品,再經(jīng)一段對稱的自由空間后由探測器接收,測量由此產(chǎn)生的電磁場強度隨時間的變化(利用傅立葉變換獲得頻域上幅度和相位的變化量),進而得到樣品的信息。這樣的測量方法已經(jīng)成功地用于氣體和有機材料的測量。
我們知道,太赫茲(THz)光具有一些獨特的性質(zhì)。大部分材料及活體組織對于THz光來說都是半透明的并具備帶有其特征的“指紋譜”。此外,由于THz光譜還具有非離子化和輻射能量相對較低等特點,因而它又作為一種非常安全的檢測技術方法而越來越受到重視。
4. 太赫茲成像(THz Imaging)
太赫茲射線能夠深入到許多有機材料內(nèi)部而不傷害材料,這個類似于X射線的特長使太赫茲成像非常適合用來測量生物樣品。通過聚焦后的太赫茲光束來對樣品進行光柵掃描,這套工具包就能輕易的實現(xiàn)太赫茲成像。
5. 太赫茲泵浦探針試驗(Pump-Probe THz Experiments)
而飛秒激光器的引入為研究超快過程的非平衡動態(tài)力學提供了手段。在采用光泵浦探針技術的試驗中,樣品一面被超短的強激光脈沖照射,激發(fā)出自由電信號,同時一束相對較弱的泵浦信號光從另一面射入,這束THz波改變了樣品的光學性質(zhì)。與純粹的光學探針技術恰恰相反——研究發(fā)現(xiàn)THz泵浦脈沖在半導體的級帶上是非共振的,這就避免了自由電子動力學領域試驗中許多人工的假象干擾,可以放心地直接作為探針應用于光泵浦-光學探針系統(tǒng)。
6. THz光譜應用組件
標準的成套工具包由:含光電導天線的THz發(fā)射和接收器、引導泵浦光路的光學組件、電機延遲線、給THz光路定向的光學鏡片、樣品臺、帶控制器的斬波器和鎖相放大器多部分組成。配置簡單靈活可應需更改,比如,把樣品臺安裝在X-Y電動調(diào)整架上即轉(zhuǎn)換成成像實驗用的裝置了。
7.THz 應用相關元件
太赫茲發(fā)射器,太赫茲探測器,光學元器件
THz發(fā)射和接收器均集成了低溫環(huán)境下生長的GaAs晶體材料光電導天線(含微波傳輸帶)和一些THz透鏡,分別安置在兩個X-Y調(diào)整架當中。電子遷移率和誘捕時間這兩個技術指標分別決定了光電導天線在發(fā)射器和接收器上的表現(xiàn)。低溫環(huán)境生長的GaAs(LTG-GaAs)是較適于太赫茲應用的材料之一,因為它有極高的電子遷移率、較快的電信號捕獲時間、很高的擊穿電壓以及高抗性。另外,我們在低溫環(huán)境生長GaAs的過程中采用了一種特別的技術,使得光電激發(fā)壽命獲得了一個遠寬于正常的可控波譜范圍:從低于100fs 一直到100ps!除了光電導天線的幾何設計,像THz透鏡組的參數(shù)的準確選擇和低溫GaAs晶體外延法生長過程選擇哪類材料的附著層,這些都是非常關鍵的因素。我們希望在保留較佳的帶寬情況下,通過優(yōu)化還能輸出較高能量的THz輻射。所克服的技術難點也正是這套工具包的價值所在。
就拿THz透鏡來說,這套THz發(fā)射和探測級所選配的透鏡,用了許多不同材料來滿足如此寬范圍的波長的輻射,一般來說,像絕緣材料和硅質(zhì)都是比較常用的。鍍金的反射鏡則是保證THz“光束”準直和聚焦的重要元件。
中國工程物理研究院
北京計量院
北京無線電計量測試研究所
中國科學院半導體研究所
清華大學
北京大學
中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所
中國科學院上海光學精密機械研究所
上海技術物理所
西南科技大學
四川大學
成都光電所
深圳大學
長春理工大學
上海理工大學
浙江大學
南開大學
北京交通大學
中國科學技術大學
深圳先進技術研究院
東南大學太赫茲研究所
山東科技大學
廈門大學
太赫茲時域光譜儀BATOP GmbH是一家創(chuàng)新型公司,從事的專業(yè)領域包括:低溫分子束外延技術,介質(zhì)濺射鍍膜,晶圓加工和芯片安裝技術。BATOP的一個主要產(chǎn)品系列是用于太赫茲發(fā)射和探測的太赫茲光電導天線(PCA)。BATOP不僅提供單帶隙天線,還提供包括整合了微透鏡的高能大狹縫交叉天線陣列和整套的太赫茲光譜儀。 |
太赫茲源(雪崩渡越時間二極管)TeraSense系列太赫茲源(IMPATT diode,碰撞雪崩渡越時間二極管),是一種硅雙漂移二極管,過渡區(qū)域0.6um,安裝在銅散熱器上。雙偏移二極管的分層:重摻雜(p +)層,適度摻雜(p-)層,適度摻雜(n-)層和重摻雜(n +)層。(p +)和(n+)層允許歐姆電觸點接觸到外部電路。設備依靠負電阻產(chǎn)生和維持振蕩。 |
太赫茲電光探測器太赫茲光電探測器(EOD)用于記錄脈沖太赫茲(THz)輻射。它由集成光學器件以及內(nèi)置鎖定放大器組成。該探測器具有以下功能:信號調(diào)節(jié);光電探測器的自動信號平衡微調(diào)??梢酝ㄟ^EOD隨附的專有軟件進行機械延遲電路控制的功能。該設備的應用領域包括時域光譜(TDS)。 |
高萊探測器高萊探測器是最有效的太赫茲探測設備之一,是一種經(jīng)典的非致冷、非選擇性探測器。這種探測器可以在室溫工作,在室溫下具有極好的靈敏度,在很寬的波長范圍內(nèi)具有很平坦的光學響應,并且具有體積小、高靈敏度、高效率與寬光譜范圍等優(yōu)點,廣泛地應用在IR & THz輻射源和探測器的研究中。 |
BWO太赫茲返波管QS1-370是我們的中檔信號源之一,其最大輸出頻率為370 GHz。 該系統(tǒng)可以與倍頻器結(jié)合使用,以達到1 THz以上的實用范圍。 它可以在300 GHz范圍內(nèi)提供比同系列其他任何太赫茲源更大的功率。 |
太赫茲傳感器TeraPyro 太赫茲傳感器,帶有可移動預對準透鏡,基于焦電子技術 >從0.1到30 THz>脈沖操作(QCW)> 4mm2單像素 |
太赫茲面陣探測器太赫茲面陣探測器 美國TERASENSE公司提供高快速響應太赫茲面陣探測器,分辨率16×16,32×32,64×64可選。探測器采用GaAs單晶片設計,體積緊湊小巧。探測單元響應度偏差小于20%??煞奖阌糜诳焖俚奶掌澒獍邫z測、無損檢測、醫(yī)學成像診斷等應用中 |
bolometer熱輻射計bolometer對熱輻射非常敏感,主要用于10至5000μm(30THz至60GHz)之間的紅外光譜中。檢測器元件是一個非常敏感的熱敏電阻,它被冷卻到LHe溫度以降低熱本底。 |
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THz絕對功率計TK-100絕對功率/能量計n1、帶寬:30GHz~3THzn2、靈敏度:5uW 以下n3、NEP: 5??/Hz??n4、NEJ:1??n5、窗口有效面積直徑大于30mmn6、精度優(yōu)于10% |
Batop 實驗級太赫茲光譜儀THz TDSBATOP GmbH是一家創(chuàng)新型公司,從事的專業(yè)領域包括:低溫分子束外延技術,介質(zhì)濺射鍍膜,晶圓加工和芯片安裝技術。BATOP的一個主要產(chǎn)品系列是用于太赫茲發(fā)射和探測的太赫茲光電導天線(PCA)。BATOP不僅提供單帶隙天線,還包括整合了微透鏡的高能大狹縫交叉天線陣列和整套的太赫茲光譜儀。 |
太赫茲光電導天線BATOP 專業(yè)提供太赫茲發(fā)射和探測的太赫茲光電導天線(PCA),激發(fā)波長從 800nm 到 1550nm。 產(chǎn)品性質(zhì): 可作為太赫茲發(fā)射和探測天線 波長:800nm/1064nm/1550nm 定位準直或聚焦非球面硅透鏡可選 |
太赫茲分束鏡單次分束鏡:用于發(fā)射光僅通過分束片一次的光學系統(tǒng) 多次分束鏡:用于邁克爾遜干涉儀的光路,波束多次通過分束片 材料:HRZF-Si,KBr 直徑:38.1~101.mm,方形可選 厚度: 3.5~10mm,可定制 |
THz低通濾波器THz Low Pass Filters-工作方式: -1000-20um(0.3-15 THz)范圍帶通; -可選中心波段0.3、0.5、1.0、3.0和10.0THz-材料:帶不同小孔的金屬薄片-帶通波段高透過率:60%-90%-阻隔波段低透過率:4%-可集成于電光組件和在低溫環(huán)境使用-高破壞閾值:65-100W/cm2-標配帶Holder-尺寸: 截面:D=24/35/47mm,其他尺寸也可定制 |
TeraKit-DODS太赫茲時域光譜系統(tǒng)TeraKit-DODS提供靈活的實驗室級的太赫茲光譜儀系統(tǒng),它有兩種配置:透射型和反射型?;谟袡C晶體,TeraKit-DODS可以運用于不同的太赫茲頻率,系統(tǒng)包括延遲線、太赫茲發(fā)生器、太赫茲探測器、光學部件和電子部份。它可以和任何的飛秒激光器聯(lián)用。 |
亞太赫茲成像相機Tera系列THz相機由許多小的THz探測器組成,探測器像元尺寸為1.5×1.5mm,能夠捕獲100-700GHz的太赫茲輻射,為被動操作模式。在使用太赫茲相機時需要一個太赫茲輻射源激發(fā)目標的太赫茲輻射,從而產(chǎn)生圖像。 |
光電導天線BATOP不僅提供單帶隙天線,還包括整合了微透鏡的高能大狹縫交叉天線陣列和整套的太赫茲光譜儀。 太赫茲光電導天線的激發(fā)波長為800nm到1550nm之間。 |
亞太赫茲波段成像相機相機探測器部分基于GaAs異質(zhì)結(jié)高效的載流子遷移率,利用傳統(tǒng)光刻蝕的方法制造。成像傳感器制做在一個單獨的晶圓上。整個過程確保了等離子體探測器各項參數(shù)的穩(wěn)定性和高的響應度(像素-像素之間的響應度偏離20%之內(nèi))。每個獨立的探測單元在室溫下的響應度高達50KV/W,在10GHz-1THz之間的噪聲等效功率為1nW/Hz1/2。探測器的探測機制是基于在二維電子系統(tǒng)中入射太赫茲與等離子體振蕩的轉(zhuǎn)化過程。 |
THz衰減器THz Attenuators:-工作方式:n -適合高功率THz波段探測用的THz衰減;n -由5個旋轉(zhuǎn)插入的轉(zhuǎn)輪組合而成n -其中4個轉(zhuǎn)輪裝有衰減比率分別為的30%、10%、3%、1%的衰減片,一個空置的是留給用戶自己加的n -可以實現(xiàn)彼此之間的自由組合,實現(xiàn)多種更大比例的衰減比 n-適用波段可涵蓋40-1000um |