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ALPAO高速變形鏡

變形鏡，又稱變形反射鏡（DM），主要運用于各種自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)之中，主要用于校正波前畸變，它由很多驅(qū)動單元組合而成，每個驅(qū)動單元都有自己獨立的控制器，在外加電壓控制下，變形鏡的鏡面可以產(chǎn)生需要的形變量，從而對波前像差進(jìn)行調(diào)制。變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中的重要部件之一。
ALPAO是從法國JosephFourier大學(xué)獨立出來的公司，主要開發(fā)電磁場驅(qū)動的MEMS驅(qū)動器，最高到820 個驅(qū)動器，行程達(dá)80μm，表面質(zhì)量<7nmRMS，采用目前先進(jìn)的拋光工藝，表面粗糙度<1nm，變形鏡的響應(yīng)時間只有500us，帶寬可以達(dá)到2KHz。

ALPAO公司可變形鏡

ALPAO公司MEMS變形鏡結(jié)構(gòu)緊湊、相較于波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調(diào)制量大低磁滯性<1%，高線性度>97%。相比于MEMS靜電變形鏡來說，電磁驅(qū)動變形鏡相較于壓電變形鏡的優(yōu)點在于其巨大的變形量，更高的調(diào)制精度。

Alpao高速變形鏡采用電磁驅(qū)動器來使硅薄膜連續(xù)反射面發(fā)生形變，擁有大波前調(diào)制量、高線性度和可以進(jìn)行實時波前調(diào)制等特點，非常適合天文、自由空間激光通信、眼科、多光子熒光顯微鏡和微電子（下一代半導(dǎo)體設(shè)備）等應(yīng)用。同時，Alpao擁有科學(xué)的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)控制算法，結(jié)合基于EMCCD技術(shù)的高靈敏度、高速波前傳感器可以實現(xiàn)實時的大氣湍流校正。

Alpao是一家從法國的格勒諾布爾約瑟夫?傅里葉大學(xué)獨立出來的公司，其主要致力于開發(fā)使用電磁驅(qū)動器的高速、高線性度和大波前調(diào)制量連續(xù)反射面變形鏡，其產(chǎn)品廣泛用于天文、自由空間激光通信、眼科、多光子熒光顯微鏡和下一代高端半導(dǎo)體設(shè)備等應(yīng)用，與歐洲南方天文臺（ES0）、霍華德·休斯醫(yī)學(xué)研究所（HHMI, Betzig）與羅切斯特大學(xué)在天文、多光子熒光顯微鏡及眼科應(yīng)用上面取得了異常豐碩的研究成果。

主要特點：

調(diào)制量大：波前相位調(diào)制幅度超過80μm

穩(wěn)定度高：+/-1% over 30s，<10nm RMS over hours

· 高動態(tài)范圍：響應(yīng)時間小于500μs

· 鍍膜質(zhì)量高： R>97% @500nm- 2.0μm

表面平整：表面粗糙度 <15? RMS

亞納米步長精度

低磁滯：磁滯誤差小于1%

單通道相位調(diào)制幅度>5.0 μm PTV

法國ALPAO高速變形鏡主要型號相關(guān)參數(shù)如下：

型號參數(shù)	DM69	DM88	DM97-08	DM97-15	DM241	DM277	DM468	DM820
單通道口徑	1.5mm	2.5mm	0.8mm	1.5mm	2.5mm	1.5mm
通道數(shù)	69	88	97	97	241	277	468	820
孔徑	10.5mm	20.0mm	7.2mm	13.5mm	37.5mm	24.5mm	33.0mm	45.0mm
閉環(huán)系統(tǒng)鏡面平整度	7.0nm RMS (no print through effects)
最大形變量（PTV)	60μm	40μm	80μm	60μm	40μm	15μm
聚焦/散光形變量（PTV）	40μm	30μm	40μm	40μm	30μm	10μm
3x3最大形變量（PTV)	>25μm					>10μm
響應(yīng)時間（+/-10%)	800μs	1.6ms		800μs	1.6ms	500μs
帶寬	>750HZ	>400HZ		>750HZ	>400HZ	>2000HZ
45°相位延遲頻率	> 500 Hz	> 300 Hz		> 500 Hz	> 300 Hz	> 1500 Hz
回程誤差	<2%
非線性誤差	<3%
涂層	保護(hù)銀（或其他高反射率涂層）
操作溫度	-10~35℃