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ALPAO高速變形鏡

變形鏡,又稱變形反射鏡(DM),主要運用于各種自適應光學系統(tǒng)之中,主要用于校正波前畸變,它由很多驅動單元組合而成,每個驅動單元都有自己獨立的控制器,在外加電壓控制下,變形鏡的鏡面可以產生需要的形變量,從而對波前像差進行調制。變形鏡自適應光學系統(tǒng)中的重要部件之一。
    ALPAO是從法國JosephFourier大學獨立出來的公司,主要開發(fā)電磁場驅動的MEMS驅動器,最高到820 個驅動器,行程達80μm,表面質量<7nmRMS,采用目前先進的拋光工藝,表面粗糙度<1nm,變形鏡的響應時間只有500us,帶寬可以達到2KHz。

ALPAO公司可變形鏡

ALPAO公司MEMS變形鏡結構緊湊、相較于波士頓、Imagine等其他的微變形反射鏡具有波前調制量大低磁滯性<1%,高線性度>97%。相比于MEMS靜電變形鏡來說,電磁驅動變形鏡相較于壓電變形鏡的優(yōu)點在于其巨大的變形量,更高的調制精度。

Alpao高速變形鏡采用電磁驅動器來使硅薄膜連續(xù)反射面發(fā)生形變,擁有大波前調制量、高線性度和可以進行實時波前調制等特點,非常適合天文、自由空間激光通信、眼科、多光子熒光顯微鏡和微電子(下一代半導體設備)等應用。同時,Alpao擁有科學的自適應光學系統(tǒng)控制算法,結合基于EMCCD技術的高靈敏度、高速波前傳感器可以實現實時的大氣湍流校正。

Alpao是一家從法國的格勒諾布爾約瑟夫?傅里葉大學獨立出來的公司,其主要致力于開發(fā)使用電磁驅動器的高速、高線性度和大波前調制量連續(xù)反射面變形鏡,其產品廣泛用于天文、自由空間激光通信、眼科、多光子熒光顯微鏡和下一代高端半導體設備等應用,與歐洲南方天文臺(ES0)、霍華德·休斯醫(yī)學研究所(HHMI, Betzig)與羅切斯特大學在天文、多光子熒光顯微鏡及眼科應用上面取得了異常豐碩的研究成果。

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 主要特點:

 調制量大:波前相位調制幅度超過80μm                   

穩(wěn)定度高:+/-1% over 30s<10nm RMS over hours

·         高動態(tài)范圍 :響應時間小于500μs                        

·         鍍膜質量高: R>97% @500nm- 2.0μm

表面平整:表面粗糙度 <15? RMS

亞納米步長精度

低磁滯:磁滯誤差小于1%              

單通道相位調制幅度>5.0 μm PTV

 

法國ALPAO高速變形鏡主要型號相關參數如下:

型  號

參   數

DM69

DM88

DM97-08

DM97-15

DM241

DM277

DM468

DM820

單通道口徑

1.5mm

2.5mm

0.8mm

1.5mm

2.5mm

1.5mm

通道數

69

88

97

97

241

277

468

820

孔徑

10.5mm

20.0mm

7.2mm

13.5mm

37.5mm

24.5mm

33.0mm

45.0mm

閉環(huán)系統(tǒng)鏡面平整度

7.0nm RMS (no print   through effects)

最大形變量(PTV)

60μm

40μm

80μm

60μm

40μm

15μm

聚焦/散光形變量(PTV)

40μm

30μm

40μm

40μm

30μm

10μm

3x3最大形變量(PTV)

>25μm

>10μm

響應時間(+/-10%)

800μs

1.6ms

800μs

1.6ms

500μs

帶寬

>750HZ

>400HZ

>750HZ

>400HZ

>2000HZ

45°相位延遲頻率

> 500 Hz

> 300 Hz

> 500 Hz

> 300 Hz

> 1500 Hz

回程誤差

<2%

非線性誤差

<3%

涂層

保護銀(或其他高反射率涂層)

操作溫度

-10~35



法國Alpao公司開發(fā)的高速變形鏡為電磁驅動式、連續(xù)型反射鏡面,驅動電極多、可快速設定時間從而實現快速的波前校正。可應用于天文望遠鏡、主動光學、自適應光學、激光通信等領域。。

供貨清單:

* 變形鏡

* 電子控制箱

* 可用于Labview, Matlab,C/C++和Python編程的SDK

特點:

* 更大變形量

* 更快響應速度

* 更高表面光學質量

* 更高穩(wěn)定度

* 其他鍍膜:金、鋁、介質膜

* 更長質保時間:2年

應用:

* 天文光學

* 自由空間光通信

* 大氣光學

* 自由曲面光學元件檢測

* 視覺成像(如SLO、OCT等)

* 顯微成像

* 光束整形等

品牌: ALPAO(6)
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