繁體中文
訂購熱線:021-3463-5258 021-3463-5259
訂購熱線:021-3463-5258 021-3463-5259
| Holoeye空間光調制器 | ALPAO高速變形鏡 | 波前分析儀Phasics | 自適應光學系統(tǒng) | 數(shù)字微反射鏡 DMD 數(shù)字微鏡器件 | 光學元件器件DOE | 光刻儀 |
| 飛秒激光器 | 皮秒激光器 | 自相關儀 | 超短脈沖測量儀Frog | 超快激光器件 |
| 高功率連續(xù)波OPO | 高功率光纖激光器 | Qioptiq NANO 激光器 | 低噪聲窄線寬激光器 | 可調諧激光器 | 半導體激光器和放大器 | SLD和ASE寬帶光源 | 雙波長輸出氦氖激光器 |
| QIOPTIQ光纖耦合半導體激光器 | Diode & DPSS_qioptiq | 激光驅動白光光源 | 等離子體寬帶光源 | 單色儀 | 光譜儀 | 光柵 | 輻射計 | 防嗮系數(shù)分析 | Optogma固體激光器 | Solarlight | 波長選擇器 |
| 激光準直儀 | 紅外激光觀察鏡 | 激光功率能量計 | 光學斬波器 | 光束質量分析儀 | 位敏探測器 | 紅外相機 | O/E轉換模塊探測器 TIA-525S |
| 太赫茲相機及源 | 太赫茲探測器 | 太赫茲元器件及晶體 | 太赫茲光譜儀 | 太赫茲功率計 |
| Optiphase | 微光MOI |
| 普克爾盒/Pockels Cells | 電光調制器/Electro-Optics Modulators | 法拉第隔離器/Faraday Isolators | SESAM半導體可飽和吸收鏡 | 探測器 | EOT高速光電探測器 | 其他未分類 |
| 電化學ECV 擴散濃度 | 接觸電阻測量儀 | 四點探針測試儀 | 少子壽命測試儀 |
| 平行光管 |
| 光纖跳線及配件 | 無源器件 |
DWL66+激光光刻系統(tǒng)是一個經濟的，高分辨率模式發(fā)生器為低容量掩模制造和直寫。這個系統(tǒng)的靈活性和功能讓最終的光刻研究工具用于微電子機械系統(tǒng)，生物微機電，微光學，專用集成電路，微流體，傳感器，計算機全息技術，還有其他的微型機構的應用。用DWL66+的客戶在世界范圍內包含了超過150個領先的大學和研究設備處。這個系統(tǒng)的很多功能一直在與這些機構進行密切的合作開發(fā)。
重要特征選項
最大基板尺寸9”x 9”
最小描繪尺寸0.6um
最小描繪網格10nm
先進的灰度曝光模式
實時的自動對焦系統(tǒng)
客戶特定激光源
矢量和柵格曝光模式
可交換的寫模式
攝像系統(tǒng)計量和校準
前后面對齊
人工氣候室
多種數(shù)據輸入格式
用戶編程接口
技術參數(shù)
寫入模式 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
地址網格（nm） | 10 | 20 | 25 | 50 | 100 | 200 |
最小結構大小（um） | 0.6 | 0.8 | 1 | 2 | 4 | 7 |
寫速度（mm^2/min） | 6 | 25 | 39 | 145 | 500 | 1000 |
邊緣粗糙度（3σ，nm） | 50 | 70 | 80 | 110 | 160 | 240 |
線寬均勻度（3σ，nm） | 60 | 80 | 100 | 180 | 250 | 500 |
線條測量精度（3σ，nm） | 100 | 120 | 150 | 250 | 400 | 800 |
?
